by 西村陶業株式会社
by Nishimura Advanced Ceramics.「ANYCHUCK」は、最小Φ1μmの超微細な気孔により、極小・極薄のワークでも強力かつ安全に吸着固定できる、セラミックス製真空チャックです。部分吸着が可能なチャックテーブルは、形状・サイズが異なるワークでも同時に複数固定が可能で、真空チャック交換のタイムロスを低減。加工・検査・搬送などの繰り返し作業を目に見えて効率化できます。
極小のワークを複数個まとめて搬送する、形状の異なるワークを同時に吸着して検査するなど、１枚の真空チャックで複数個同時に吸着可能です。従来の真空チャックでは１ワーク＝１チャックが基本であり、かつチャック全面を覆わなければエアーリークが発生していました。ANYCHUCKなら１枚のチャックに複数個配置でき、かつテーブル上のどの位置でも自在に固定できます。また、空気を送り出すことで浮上運搬にも対応可能です。
直径や形状の異なる薄物ワークを固定し作業を行う、サイズの異なるワークを吸着し研磨するなど、１枚のANYCHUCKでサイズ違いにも柔軟に対応。このため、ワークサイズに合わせて真空チャックを交換する必要が無くなります*。ワークの種類も基盤、セラミック、ウエハー、フィルムなど、様々な素材を吸着できます。
*ワーク材質によって適当なポーラス材質が異なる場合があります。弊社にて最適な素材を提案させていただきます。
部分吸着性能Partial adsorption
真空チャックの全面を覆わなければエアーリーク発生
→ワークサイズが変わるたびにチャック交換が必要
全面を覆わなくとも吸着可能な「部分吸着性能」
→異なるワークサイズに１枚のチャックで対応
フィルム等の薄い
フィルムや金属箔などの薄物ワーク作業時に、ワークの反りを矯正しながら安全に吸着・固定が可能で、数ミクロンの極薄ワークに対応した実績もございます。弊社では３グレードの真空チャック用素材を用意しており、反り矯正の度合いをコントロールする、静電気対策を行うなど、ワークに応じた選択が可能です。
従来の真空チャックでは気孔の直径が大きく、フィルムや金属箔などの極薄ワークで変形や歪み、キズ等のトラブルが見受けられました。ANYCHUCKの気孔はΦ1μm〜5μmで、ほぼ平滑なテーブル面がワークをトラブルから守ります。ワークの材質等によって、最適な気孔径が異なりますので、当社デモ機でテストいただければ幸いです。
当社では機械加工により、セラミックス製真空チャックを自由なサイズ・形状に加工可能です。また機械への装着を想定したベース部と真空チャックのユニット製品、および、従来の真空チャックの上に置くだけで使用できるポーラス板単体でのご提供など、ニーズに合わせて対応可能です。
ベース部の材質、ポーラス板の種類等、ご要望に沿った製品をご提供させていただきます。高精度の平面、平行仕上げも可能です。(~平面度1µm)
| 最大製作可能サイズ | 2000×2000 |
|---|---|
| 各種加工対応 | 自由な形状に加工可／位置決め用穴 ベース部へのネジ穴加工等 |
| 対応可能環境 | ドライ環境 ウェット環境 最大500℃の高温環境（真空チャック単体） |
| 吸着強度 | ワークの平面研削加工が可能な程度 |
| 素材 | ポーラス材：白色素材(1um)・緑～青色素材 静電気対策品 ベースプレート材：セラミック・金属・グラナイト |
| 提供形態 | ユニット式（ベース部＋ポーラス板） or ポーラス板単体 |
| 従来の ポーラスチャック | ANYCHUCK | |
|---|---|---|
| ポーラス面より 小さいワーク | 吸着不可 | 吸着可能 |
| 複数個の吸着 | 一度に１つのワークのみ | 一度に複数ワーク吸着可能 |
| 固定用治具 | 都度設計、製作が必要 | 不要 |
| 薄物ワーク対応 | 吸着痕の残る可能性あり | 吸着痕が残らない 半鏡面～鏡面仕上げも可能 |
西村陶業ではセラミックス製真空チャック「ANYCHUCK」のデモ機をご用意しております。お客様がお取り扱いのワークや作業フロー等によって最適な製品が異なりますので、ぜひ一度ご相談いただき、デモ機での実地テストを行っていただければ幸いです。
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