Si3N4 窒化ケイ素セラミックス
Si3N4はアルミナや炭化ケイ素より優れた機械強度を持ち、かつ耐熱衝撃に優れる唯一の特性をもつ材質です。
高温領域での強度を求められる部品に用いられています。
特長
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- 破壊靱性が高い
- 高温領域での強度と信頼性
- 耐熱衝撃
- 低熱膨張
- 絶縁性（1014Ωcm 以上）
- 高強度
- ジルコニア、アルミナより軽量
- 耐食性
用途
- 高温領域で使用される部品
- 熱衝撃がかかる部品
- ジルコニアの軽量化
材料への要求と合わせてお気軽にお問合せください。
事例紹介
Si3N4 窒化ケイ素セラミックス ピン・シャフト・ブロック
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SiC 炭化ケイ素セラミックス
SICはアルミナ、ジルコニアにはない独特の特性バランスを持つ材質です。
半導体製造装置用部品やポンプ部品としてご利用頂いております。
特長
- 摺動部品
- 窒化アルミ（170w/m・K）に匹敵する高熱伝導率
- 106Ωcm以下の半導体領域の体積固有抵抗値
- 耐摩耗性
- 高強度、高温機械強度が優れる
- ジルコニア、アルミナより軽量
- 耐食性、高硬度
用途
- ウェハーアームなどの半導体製造装置部品
- シャフト部品
- 摺動部品
材料への要求と合わせてお気軽にお問合せください。
