N-600は、室温付近での熱膨張率がゼロの低熱膨張セラミックスです。他の低熱膨張素材に比べ、高強度、軽量であり、焼結前加工(生加工)による複雑形状の製造も可能です。
特長
- 室温付近(22-23℃)での熱膨張係数がゼロに近い
- 軽量かつ高強度
- 平滑な表面で鏡面加工が可能
- 従来のコージライトが吸水性があったのに対し、N-600は吸水性が0%
- 低熱伝導率
用途
- 半導体製造装置及び検査装置用部品
- 精密機器のガイド
- 校正用基準ゲージ
- 高温もしくわ低温環境で使われる機器用部品
- スーパーインバー代替
特性
材質名称 | コージライト |
ニシムラNo. | N-600 |
主成分 | 2MgO・2Al2O3・5SiO2 |
呈色 | 白色 | ||
かさ比重 | 2.5 | ||
吸水率 | 0 | ||
機械的特性 | ビッカース硬度 | GPa | 9.0 |
曲げ強度 | MPa | 150 | |
ヤング率 | GPa | 140 | |
電気的特性 | 体積抵抗率 | Ω・cm | 1014 |
誘電率 1MHz | 4.9 | ||
誘電正接 1MHz | 9.0×10-4 | ||
絶縁耐力 | kV/mm | 19.1 | |
熱的特性 | 熱膨張係数 | 10-6/℃ | 1.28(500~600℃) |
0.1 (22~23℃) | |||
熱伝導率 | W/m・K | 4.75(30℃) |