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半导体•液晶制造装置用/太阳能用
半导体制造装置需要有高刚性•加工精度•耐震性•耐热性•热传导率•表面处理精度•耐药液性•耐气体•耐等离子体性•绝缘性•诱电率•诱电正性•体积抵抗率•低发尘（微粒子）•价格等诸多特性。
西村陶业提议顾客使用对应上述所有特性的陶瓷 → 高纯度氧化铝（AI2O3 99.5%以上、AI2O3 99.9%以上）、窒化铝ALN、三氧化二钇Y2O3 。
高纯度氧化铝根据各种特性需求常用于搬送杆、薄基板等方面。还能发挥耐金属性好的特点（Metallizing）。
窒化铝不仅有热传导性、放热性、耐热冲击性、电气绝缘性的优点，还有热膨胀率接近于珪素IC基板（silicon wafer硅晶片）的特性。
三氧化二钇则是耐等离子体性非常好的素材。
事例紹介
ジルコニアφ0.1 細穴パイプ
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ジルコニアの押し出し成形でパイプを作りました。中央にφ0.1の穴が開いたパイプです。
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耐プラズマCVD用ベルジャー 材質N-999S
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半導体製造装置用にプラズマによる磨耗に強い、高純度アルミナ99.9％（N-999S）材料で製作しました。
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アルミナ N-999S チューブ
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アルミナ99.9％（N-999S）で曲がりの少ないパイプを製作しました（サイズ：φ10 ＋0／－0.05×φ8 ＋0.1／0×350L）。 内径研磨仕上げ無しで反り0.2mm以下で成型し焼き上げました。 詳細はこちら |
修正リング（修正板リング）
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修正リング（修正板リング） ケンマ盤の定盤修正用リングです。アルミナ99.7％製ご要望に合わせたサイズ、形状、精度で製造可能です。
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耐プラズマ用セラミックスU字管
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アルミナ99.7％製のU字管が半導体製造装置に耐プラズマ保護管として採用されています。
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耐プラズマ保護カバー
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西村陶業の透光性アルミナN‐9000NSが、半導体製造装置用の耐プラズマ用保護カバーとして採用されています。
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耐プラズマ用エルボ
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高純度アルミナ製、耐プラズマ用の２分割エルボです。
組み立て可能な形状になっています。 詳細はこちら |
高純度アルミナN－99製(アルミナ99.7％以上) 半導体製造装置用部品
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高純度アルミナN－99製(アルミナ99.7％以上)の製品が半導体製造装置用部品として採用されています。
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