イットリア　大型リング・円板

高純度イットリアで大型リングを製作しました。

外径　φ320

成型、加工、焼成、研磨加工して　バルクのイットリア（Y2O3）セラミックスを製作しました。

用途

半導体製造装置で耐プラズマ部材として使われます。