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西村陶業の透光性アルミナN‐9000NSが、半導体製造装置用の耐プラズマ用保護カバーとして採用されています。
高純度アルミナ製、耐プラズマ用の2分割エルボです。 組み立て可能な形状になっています。
高純度アルミナN-99製(アルミナ99.7%以上)の製品が半導体製造装置用部品として採用されています。