半導体・液晶製造装置用/ソーラー用

イットリア　パイプ

サイズ φ32×φ28×240L 内面光沢面高純度イットリア(99.9%以上)で、耐プラズマ性に優れたパイプを作りました。内面は鏡面の型を作って成型していますので、キレイな光沢面になっています。関連ペ[…..]

西村陶業では、日夜、より大きなセラミック素材を安定的に、リーズナブルに生産できるよう、テストを重ねております。一例として・N-99グレード 1000x100x90t 3000x200x40t[…..]

高純度ALN（助剤レス）、高純度アルミナ製ダミーウェハーを製造販売しております。サイズ：12インチまで対応可能 ALN 12インチ・8インチアルミナ8インチ関連ページ半導体・液晶製造装置用/ソーラー用セラミック[…..]

西村陶業では焼結前加工法（生加工）によりノズル/シャワーヘッド型のセラミック製品を生産、販売しております。プラズマガスシャワーノズル(シャワーヘッド）として多くのお客様に採用して頂いております。スムーズな内面が特徴であ[…..]

用途半導体製造装置用耐プラズマ大型製品

アルミナ99％のセラミックスをベースに、黒色顔料で着色しています。アルミナ純度は94％で、熱膨張係数は8.2×10-6/℃（25～800℃）となっています。反射しにくく、機械部品・光学用部品・測定器具用部品・半導体・[…..]

半導体製造装置用にプラズマによる磨耗に強い、高純度アルミナ99.9％（N-999S）材料で製作しました。

アルミナ99.9％（N-999S）で曲がりの少ないパイプを製作しました。

サイズ：φ10 ＋0／－0.05×φ8 ＋0.1／0×350L
内径研磨仕上げ無しで反り0.2mm以下で成型し焼き上げました。

ケンマ盤の定盤修正用リングです。アルミナ99.7％製ご要望に合わせたサイズ、形状、精度で製造可能です。

アルミナ99.7％製のU字管が半導体製造装置に耐プラズマ保護管として採用されています。