耐プラズマCVD用ベルジャー　材質N-999S

大きさ　φ270×160H

半導体製造装置用に製作しました。
プラズマによる磨耗に強い、高純度アルミナ99.9％（N-999S）材料で製作しました。

特長　（N-999S）

結晶径が3～5μmと細かく、かつ緻密に並ぶ結晶構造をもつセラミックスです。
プラズマによる磨耗が少なく、パーティクル対策として採用して頂いています。