イットリア パイプ サイズ φ32×φ28×240L 内面光沢面 高純度イットリア(99.9%以上)で、耐プラズマ性に優れたパイプを作りました。 内面は鏡面の型を作って成型していますので、キレイな光沢面になっています。 関連ペ[…..] 詳細はこちら
イットリア 大型リング・円板 高純度イットリアで大型リングを製作しました。 外径 φ320 成型、加工、焼成、研磨加工して バルクのイットリア(Y2O3)セラミックスを製作しました。 用途 半導体製造装置で耐プラズマ部材として使われます。 関連ページ[…..] 詳細はこちら