| √真空卡盘/部分吸附真空卡盘 |
| 我公司独自研发的部分吸附真空卡盘VM-6，以及市面通用型陶瓷真空卡盘，皆可制作。 |
| 部分吸附真空卡盘VM-6可以同时吸附和固定复数产品。并且具有比普通真空卡盘更细致的1微米气孔径，吸着作业时不会造成伤痕，卡粉，堵塞。 |
| 用途：半导体，薄物固定用，素材加工用。 |
| ▲详细介绍 | |
| 陶瓷制真空卡盘/部分吸附真空卡盘VM-6（多孔质吸盘） | |
| 从底座部材质到多孔板的种类，我公司为客户提供各种需求的陶瓷真空卡盘。 | |
| 其中， | |
部分吸着真空チャック
一般的なセラミックス製真空チャックに加えて、西村陶業では吸着面よりも小さい小型ワークの吸着が可能な真空チャックグレード、VM-6を開発いたしました。
ポーラス素材からのパーティクルやピンホールの発生もありません。
フィルムの反り矯正や、静電気対策品、黒色の素材などお客様のニーズに合わせた材料を開発及び製作しています。
ベース部とセットで真空チャックとしても、ポーラス板だけをご購入いただき、従来の真空チャックの上に設置して使用していただくことも可能です。
貸出サンプルもご用意しておりますので、ぜひ一度お試しください。
部分吸着真空チャック 複数品を同時吸着固定
部分吸着真空チャック フィルム吸着固定
従来のセラミックス製 真空チャックとの比較
| 従来のセラミックス製真空チャック | 部分吸着チャックVM-6 |
| ●ポーラスの面より小さいものは吸着できない | ●ポーラス面より小さいものであっても、表面が滑らかであれば吸着可
●ポーラス面に収まるサイズであれば、一度に複数製品の吸着可能 |
| ●一度に一つの製品しか吸着できない | ●金属製真空チャックのように固定用治具を使用することなく、吸着固定可能 |
| ●フィルム等の薄物は、吸着痕の残る可能性がある | ●フィルム等の薄物も、吸着痕を残すことなく吸着可能
●表面粗さRa2を実現 |
想定される用途
- 小型ワークの吸着
- フィルムなど薄物の固定（静電気対策品）
- 浮上運搬用
- 加工用(吸着による固定用)
このように、西村陶業製の部分吸着真空チャックは、従来の真空チャックで発生していた様々な問題を解決することが可能です。生産性向上に大きく貢献します。
フィルム向けに静電気対策素材、画像測定器向けに黒色素材も開発いたしました。
ご興味のある方は、ぜひ一度お電話か、メールにてご相談下さい。
アルニウムベース製ポーラスチャック
アルミナベース真空チャック（ポーラスチャック）
アルミナベース真空チャック（ポーラスチャック） φ237mm(8インチウエハー対応)
真空チャック バキューム用ホースを取り外した状態でのワーク吸着及び搬送
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ワークの固定及び搬送手段として真空チャックを利用される際、ホースを繋げて真空引きし続けて使用されるのが一般的です。これだとワークを吸着させたまま移動する際ホースが障害になります。また、吸着させたまま乾燥機など別の機械に搬送させることが難しいです。
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