耐プラズマ用セラミックスU字管

耐プラズマ用セラミックスU字管

半導体製造装置内のアンテナカバー等の内径精度、肉厚精度が要求される分野に高純度アルミナ99.7％の鋳込み成形によるU字管が採用されています。
西村陶業では、高純度アルミナ99.7％の鋳込み成形によるU字管の製造を行っております。
長年積み重ねた製造技術、ノウハウにより内径精度、肉厚精度ともに高く、その製品は半導体製造装置内のアンテナカバー等の様々な分野に使用されています。