西村陶業では、ポーラスセラミックやベースプレートの材質、接合方法や形状など、お客様のご希望に
沿ったセラミックス製真空チャックをご提供可能です。
他社にはない材質や接合方法、柔軟な提案力でワーク固定のお悩みを解決します。
主なラインナップ
・ウエハーなどサイズの決まったワーク用の全面吸着ポーラスチャック
・小さいワークの複数個吸着、フィルムなどの薄いワークに特化した独自の部分吸着ポーラスチャック「ANYCHUCK」
こちらの「Anychuck 」ページをご覧下さい。
ウエハー用全面吸着ポーラスチャック
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シリコンやSiCウエハーなど、定格サイズのワーク吸着に特化したポーラスチャックです。
全面で均一に吸着することで、高精度の加工や測定に貢献いたします。
弊社の全面吸着ポーラスチャックの特長
・多種多様な材質での製作が可能！
ポーラス材質→アルミナ、黒アルミナ、SiC製ポーラス材をご希望の気孔径で製作可能。
ベースプレート材質→アルミナ、黒アルミナ、アルミ、ステンレス、SiCなど
・接合材及び接合方法のバリエーション
有機系及び無機系接合材での接合が可能です。耐熱仕様も可。
独自の接合方法で、ポーラスとベースプレート、ポーラスとポーラスの隙間の無い接合を実現します。
隙間にお悩みの方は弊社までご連絡ください。
・高精度を実現
μm台の高い平面、平行度を実現します。
・複数サイズのウエハー吸着に対応したマルチタイプや、溶射加工が入った特殊品の製作が可能
・大型品の製作可能
メートル級まで製作可能です。
事例紹介
真空チャック バキューム用ホースを取り外した状態でのワーク吸着及び搬送
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搬送手段として真空チャックを利用される際、ホースを繋げて真空引きし続けて使用されるのが一般的ですが、特殊な継手を利用することで、ワークの吸着後エアーホースを外してもワークを吸着し続けることが可能になります。
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500x300x30t ANYCHUCK 平面度2μm 部分吸着真空チャック
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500x300x30tの部分吸着ポーラスチャック「ANYCHUCK」を、平面度2μmまで高精度加工した真空チャックをご紹介します。高精度吸着ステージとしてご使用いただけます。
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