セラミックス製真空チャック/部分吸着真空チャック VM-6 （ポーラスチャック）

西村陶業では、ベース部の材質から、ポーラス板の種類まで、お客様のご希望に沿ったセラミックス製真空チャックを提供可能です。

中でも、部分吸着真空チャックVM-6はポーラス面より小さいワークも吸着でき、これまでにない様々な用途に活用できます。静電気対策品や黒色ポーラス素材も製作可能です。

大型品の製作も可能です。
半導体用以外にも、フィルム、様々な素材の加工等、吸着による固定が求められる様々な用途にご利用いただけます。

部分吸着真空チャック

一般的なセラミックス製真空チャックに加えて、西村陶業では吸着面よりも小さい小型ワークの吸着が可能な真空チャックグレード、VM-6を開発いたしました。

VM-6では小型ワークに対する吸着性能と、1umの細かい気孔径を活かして、様々な用途にご使用いただけます。湿式環境でも使用可能です。
ポーラス素材からのパーティクルやピンホールの発生もありません。

フィルムの反り矯正や、静電気対策品、黒色の素材などお客様のニーズに合わせた材料を開発及び製作しています。

ベース部とセットで真空チャックとしても、ポーラス板だけをご購入いただき、従来の真空チャックの上に設置して使用していただくことも可能です。

貸出サンプルもご用意しておりますので、ぜひ一度お試しください。

従来のセラミックス製真空チャック	部分吸着チャックVM-6
●ポーラスの面より小さいものは吸着できない	●ポーラス面より小さいものであっても、表面が滑らかであれば吸着可 ●ポーラス面に収まるサイズであれば、一度に複数製品の吸着可能
●一度に一つの製品しか吸着できない	●金属製真空チャックのように固定用治具を使用することなく、吸着固定可能
●フィルム等の薄物は、吸着痕の残る可能性がある	●フィルム等の薄物も、吸着痕を残すことなく吸着可能 ●表面粗さRa2を実現

このように、西村陶業製の部分吸着真空チャックは、従来の真空チャックで発生していた様々な問題を解決することが可能です。生産性向上に大きく貢献します。

フィルム向けに静電気対策素材、画像測定器向けに黒色素材も開発いたしました。

真空チャック

アルミナベース真空チャック（ポーラスチャック）　φ237mm(8インチウエハー対応)

アルミナベース真空チャック

ワークの固定及び搬送手段として真空チャックを利用される際、ホースを繋げて真空引きし続けて使用されるのが一般的です。これだとワークを吸着させたまま移動する際ホースが障害になります。また、吸着させたまま乾燥機など別の機械に搬送させることが難しいです。