耐薬品性セラミックス

耐HF（フッ酸）性能試験

セラミックスの特性の一つに酸やアルカリといった薬品に対して耐性があります。
HF,フッ化水素（強い腐食性を持つ薬品）に浸漬した後、重量の減少量を測定し、自社アルミナセラミックスの耐薬品試験を行いました。
透光性アルミナであるN-9000NSでは、アルミナ純度99.9％であるN-999Sと比べても約10倍の耐薬品性があり、サファイア以上の耐フッ酸性を示しています。

※※薬液：HF、温度：60℃、濃度：46%

耐NH4OH（水酸化アンモニウム）性能試験

NH4OHに対しての耐性を外部試験場にて試験いたしました。
サファイアと比較しても、弊社セラミックスの薬品耐性が優れている結果となりました。

	N-9000NS （アルミナ99.99％）			サファイア			N-999S（アルミナ99.9％）
浸漬期間	重量	減少重量	変化率	重量	減少重量	変化率	重量	減少重量	変化率
	(g)	(g)	(%)	(g)	(g)	(%)	(g)	(g)	(%)
浸漬前	15.5797	－	－	27.2845	－	－	14.3970	－	－
168hr後	15.5791	0.0006	-0.0040	27.2823	0.0022	-0.0081	14.3967	0.0003	-0.0019
/24hr	－	0.0001	-0.0006	－	0.0003	-0.0012	－	0.0000	-0.0003

主な用途

• 半導体関係：高い耐薬品性と耐熱性を活かし、半導体製造装置の部品として使用されます。
• 洗浄：化学薬品に対する耐性が求められる洗浄装置の部品に最適です。
• ガラスの表面処理：ガラス製品の表面処理工程で使用される装置の部品として利用されますその他、医療分析装置や化学薬品を扱う部材での使用に最適です。上記のセラミックスはいずれもグリーン加工（生加工）が可能です。

 

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