炭化ケイ素（SiC）セラミックス

SiCは高強度、高硬度、軽量な素材です。
半導体製造装置用部品やポンプ部品としてご利用頂いております。
グリーン加工を含む複雑形状品の製作が可能です。

特長

• 摺動部品
• 窒化アルミ（170w/m・K）に匹敵する高熱伝導率
• 耐摩耗性
• 高強度、高温機械強度が優れる
• ジルコニア、アルミナより軽量
• 耐食性、高硬度

用途

• 半導体製造装置部品
• シャフト部品
• 摺動部品

材料への要求と合わせてお気軽にお問合せください。