半導体・液晶製造装置用/ソーラー用 セラミックス

半導体・液晶製造装置用/ソーラー用セラミックス

半導体・液晶製造装置用/ソーラー用セラミック製品

半導体製造装置には、高剛性・加工精度・耐震性・耐熱性・熱伝導率・表面処理精度・メタルコンタミネーション・耐薬液性・耐ガス性・耐プラズマ性・絶縁性・誘電率・誘電正性・体積抵抗率・低発塵(パーティクル)・コスト等の諸特性が求められます。
西村陶業は上記の特性に対応出来るセラミックスとして高純度アルミナ(Al₂O₃ 99.7%以上、Al₂O₃ 99.9%以上)、窒化アルミ(ALN)、イットリア(Y₂0₃)を提唱します。

高純度アルミナは、その特性により搬送アーム、ウエハーステージ、RF高周波透過窓、等に使用されています。またメタライズ性に優れた特長を発揮します。
窒化アルミは熱伝導性・放熱性・耐熱衝撃性・電気絶縁性に優れており、熱膨張率がシリコンウェハーに近いという特性もあります。
イットリアは耐プラズマ性に大変優れた素材です。