イットリア（Y2O3）はレアアース材料がベースのセラミックスであり、プラズマや腐食性ガスに対する耐食性に優れています。特にプラズマによる消耗量は石英の約100分の1、アルミナの約10分の1程であり、その耐食性は大変優れています。半導体のパーティクル、不純物による汚染を低減できる為、不良率の軽減に貢献でき、半導体装置用の部品等に利用されています。
また、パーツの交換頻度を減らすことが可能です。化学的にも安定していますので、溶湯部品やセッター等にも利用されています。
西村陶業では高純度(99.9%以上）の原料を使用しており、吸水性0%の構造材用として製造しております。（市場には吸水性のある安価グレードもありますが、構造材としては使えません。）
アルミナと同じく精密加工が可能であり、様々な形状加工のご要望にお応えできます。
イットリアリング
 |
 |
高純度イットリアで大型リングを製作しました。
外径 φ320
詳細はこちら
イットリア角板
 |
サイズ：□160×160 |
イットリア パイプ
 |
サイズ φ32×φ28×240L 内面光沢面
高純度イットリア(99.9%以上)で、耐プラズマ性に優れたパイプを作りました。 詳細はこちら |
イットリア キャップ・ガスノズル
 |
高純度イットリアで耐プラズマ用のキャップ、耐プラズマ用のガスノズルを製作しました。
成型、加工、焼成によりバルクのイットリア（Y2O3）セラミックスを製作しました。 詳細はこちら |
|