イットリア

イットリア(Y2O3 )はレアアース材料がベースのセラミックスであり、プラズマや腐食性ガスに対する耐食性に優れています。

特にプラズマによる消耗量は石英の約100分の1、アルミナの約10分の1程であり、その耐食性は大変優れています。

半導体のパーティクル、不純物による汚染を低減できる為、不良率の軽減に貢献でき、半導体装置用の部品等に利用されています。

また、パーツの交換頻度を減らすことが可能です。

化学的にも安定していますので、溶湯部品やセッター等にも利用されています。

西村陶業では高純度(99.9%以上)の原料を使用しており、吸水性0%の構造材用として製造しております。(市場には吸水性のある安価グレードもありますが、構造材としては使えません。)

アルミナと同じく精密加工が可能であり、様々な形状加工のご要望にお応えできます。

材料特性
主な材料特性表(PDF)
 

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