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アルミナ99.7％製のU字管が半導体製造装置に耐プラズマ保護管として採用されています。
西村陶業の透光性アルミナN‐9000NSが、半導体製造装置用の耐プラズマ用保護カバーとして採用されています。
高純度アルミナ製、耐プラズマ用の２分割エルボです。 組み立て可能な形状になっています。
高純度アルミナN－99製(アルミナ99.7％以上)の製品が半導体製造装置用部品として採用されています。
