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SiC サイズ □15×2t φ0.35穴
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ALN-170 サイズ □25×2t
当社の半導体フリップチップボンディングツール用アタッチメント は、ボンディング装置やフリップチップボンダーでの精密な加熱プロセスを支えます。
用途
- ダイボンディング装置用 ヒートツール、アタッチメント
- フリップチップボンダー用 ツールヘッド、アタッチメント
TSV(Through-Silicon Via)技術を生かしたフリップチップボンダはHBM(High Bandwidth Memory)やFO-WLP(Fan-Out Wafer Level Packaging)にも対応しており、半導体実装の最先端技術として期待されています。
特長
カスタムメイド対応!
熱伝導率の高いセラミックスを使っています。電気絶縁性と高温での安定性が優れています。
- 窒化アルミ ALN(170W/mK・200W/mK・250W/mK)
- 炭化ケイ素 SiC(170W/mK)
関連ページ
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