500x300x30tの部分吸着ポーラスチャック「ANYCHUCK」を、平面度2μmまで高精度加工した真空チャックをご紹介します。高精度吸着ステージとしてご使用いただけます。
ポーラスチャックとは
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ポーラスチャックとは、内部が微細な多孔質構造になっており、その細かな穴から均一に真空吸着を行うチャックのことです。ワーク全体をムラなく吸着できるため、薄物ワークや反りやすい部品の固定に適しています。
「ANYCHUCK」は、必要なエリアだけを吸着する「部分吸着」構造を採用しており、ワーク形状や加工内容に合わせて効率良く真空吸着ステージとしてご使用いただけます。 |
平面度2μm加工による高精度吸着ステージ
本製品は、チャック上面の平面度を2μm以内に仕上げています。
平面度とは、ある面の一番高い部分と一番低い部分の高さ差を表す精度項目で、本事例ではその差を2μm（ミクロン）以内に抑えています。1μmは1mmの1000分の1の大きさです。
このレベルの平面度を確保することで、
- 精密測定用ステージ
- 半導体・ガラス基板の検査ステージ
- レーザー加工・微細加工用の位置決めステージ
など、高い平坦性が求められる用途で安定したワーク固定が可能になります。薄いワークでも段差や反りの影響を受けにくく、面全体を均一に吸着できる点が大きな特長です。
アルミナ99.7％ベースによる高剛性・高信頼性
ベース部には、純度99.7％の高純度アルミナセラミックスを使用しています。純度99.7％クラスの高純度材を用いることで、安定した寸法精度と耐久性を両立し、半導体・電子部品・光学部品など、高い清浄度と精度が求められる製造現場でも安心してお使いいただけます。
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