240mm×280mm
240mm×280mmの大きさの角板が製造できるようになり、より多様な用途への対応が可能となりました。精密な焼結制御によって高い寸法精度と均一な密度を実現しています。
- サイズ：240mm×280mm
- 厚さ：10mm以下可能
イットリアの特性と用途
イットリア（酸化イットリウム）は、高温下でも安定した化学特性を持つファインセラミックス材料です。高い耐プラズマ性・耐食性を備えているため、半導体製造装置部品、真空チャンバー内壁、プラズマエッチング用治具などで広く使用されています。また、他の酸化物系セラミックスに比べて、金属との反応が少ないことも特長です。
西村陶業では高純度(99.9%以上）の原料を使用しており、吸水性0%の構造材用として製造しております。（市場には吸水性のある安価グレードもありますが、構造材としては使えません。）
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