イットリア キャップ・ガスノズル

高純度イットリアの耐プラズマ用キャップ

高純度イットリアで耐プラズマ用のキャップを製作しました。
ねじ加工がされています。
成型、加工、焼成によりバルクのイットリア（Y₂O₃）セラミックスを製作しました。

高純度イットリアの耐プラズマ用ガスノズル

高純度イットリアで耐プラズマ用のガスノズルを製作しました。
ねじ加工、斜め穴加工がされています。
成型、加工、焼成によりバルクのイットリア（Y₂O₃）セラミックスを製作しました。

用途

半導体製造装置で耐プラズマ部材として使われています。

 

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