イットリア角板大型
240mm×280mm 240mm×280mmの大きさの角板が製造できるようになり、より多様な用途への対応が可能となりました。精密な焼結制御によって高い寸法精度と均一な密度を実現しています。 サイズ：240mm×280m[…..]
イットリア
イットリア キャップ・ガスノズル
高純度イットリアの耐プラズマ用キャップ 高純度イットリアで耐プラズマ用のキャップを製作しました。 ねじ加工がされています。 成型、加工、焼成によりバルクのイットリア（Y2O3）セラミックスを製作しました。 高純度イットリ[…..]
イットリア 大型リング・円板
高純度イットリアで大型リングを製作しました。 外径 φ320 成型、加工、焼成、研磨加工して バルクのイットリア（Y2O3）セラミックスを製作しました。 用途 半導体製造装置で耐プラズマ部材として使われます。 関連ページ[…..]