イットリア 大型リング・円板

高純度イットリアで大型リングを製作しました。 外径 φ320 成型、加工、焼成、研磨加工して バルクのイットリア(Y2O3)セラミックスを製作しました。 用途 半導体製造装置で耐プラズマ部材として使われます。 関連ページ[…..]