ガスフィルター、真空チャック用小型ポーラスセラミックス

4mm×4ｔ

2.8ｍｍ×0.9ｔ

NK-3000Wを使用した気孔径が30～50μnの高純度ポーラスセラミックスです。

小さな部品も製作可能です。
ガスフィルター吸着パッドとして使用可能です。

用途

• 真空チャック用
• 濾過フィルター
• 吸着パッド用
• 半導体製造装置向けガスフィルター

特長

• 熱・薬品に強い
• 高精度±0.01mm

 

関連ページ 製品一覧　ポーラスセラミックス