ポーラスセラミックスの外周部に緻密質アルミナを一体化させた半導体向けガスフィルターです。
接着剤は使用せず、緻密質アルミナで外周からのガスリーク封止が可能です。
耐薬品性、低コンタミネーションが求められる用途（エッチング装置向け等）において、異常放電の抑制及び均一なガス供給に効果を発揮します。
用途：
半導体ガスフィルター等
また、多孔質セラミックの外周を封孔処理することによって、以下のような応用が可能になります。
ガス・液体フィルターの効率向上
封孔処理により、フィルターとして使用される多孔質セラミックの流路が制御され、効率的なろ過が可能となります。外周からの漏れを防ぎ、特定の経路を通るようにすることで、フィルターの性能を向上させることができます。
半導体製造プロセスの精度向上
半導体製造において、極めて高純度のガスや液体が必要です。封孔処理により、不要な物質の混入を防ぎ、プロセスの安定性と精度を向上させることができます。
耐久性と長寿命化
外周を封孔することで、セラミックが劣化しにくくなり、耐久性が向上します。これにより、メンテナンスや交換の頻度が減り、コスト削減につながります。
化学的安定性の向上
封孔処理により、セラミックの外部からの化学的攻撃に対する耐性が向上します。これにより、過酷な化学環境でも使用可能となり、用途が広がります。
特定用途における性能向上
例えば、バイオ医療分野では、封孔処理された多孔質セラミックが精密なフィルターや薬剤のコントロールリリースに使用されます。外周を封孔することで、薬剤の漏出を防ぎ、目的の部位に効率的に届けることができます。
断熱材としての利用
多孔質セラミックは断熱材としても利用されますが、外周を封孔することで、断熱性能が向上し、熱の流出を防ぐことができます。これにより、より効果的な断熱材として使用可能となります。
汚染防止と清浄化
環境分野では、多孔質セラミックを使用したフィルターが大気や水の浄化に使用されます。封孔処理により、フィルターの効率を高め、より効果的に汚染物質を除去できます。
封孔処理により、多孔質セラミックの用途が広がり、性能が向上することで、さまざまな産業や分野でのニーズに応えることができます。
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