窒化ケイ素の基板です。片面を鏡面にしました。
ザイズ：□100×0.25t +0／-0.01
面粗さ：片面鏡面 Ra 0.03
熱伝導率(m.k)：≧80
反り：0.3％ 長さに対して
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材質別一覧：Si3N4 窒化ケイ素セラミックス 特性などはこちら |
お電話でのお問合せは 075-591-1313
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