 表面粗さRa0.2 |
 両面鏡面研磨品 Ra0.05 |
高熱伝導率と優れた電気絶縁性を兼ね備えたALNセラミック（窒化アルミニウム）ダミーウエハーです。
半導体製造工程や熱処理工程での評価・搬送用に最適。安定した寸法精度と高耐熱性で、装置の信頼性向上に貢献します。
仕様
サイズ 外径φ200±0.5 厚み0.65±0.05mm TTV0.01 ノッチ付き
特長
- 高熱伝導率：約170 W/m・K
- 優れた電気絶縁性
- 高耐熱性・低熱膨張
- 精密加工対応
対応サイズ：最大8インチ（200mm）
用途例：半導体製造ライン、熱処理工程、装置評価用
カスタム対応：厚み、表面仕上げ、精度指定可能
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